自动物料搬送系统。
顾名思义是搬送物料的一套系统,随着人力成本的上升,以及生产的智能化、精细化程度的提高,传统人力在各个机台间人力搬运已经成为生产效率和生产质量的瓶颈,在高端制造业中已经开始普及AMHS系统例如晶圆厂,液晶平板厂等,未来相信会走进更多的生产领域。
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这种搬送系统的应用范围还是蛮多的,比如说机场的货物运输,自动化工厂的物料运输,在我的记忆中,似乎上海图书馆也有这种类似的图书自动搬送系统。 AMHS应用范围最广的还是在半导体晶圆厂。之所以晶圆厂会大规模的采用AMHS,基本上是基于它可以快速准确的将Carrier搬送到目的地,较少wafer的idletime,减少MO。但早期的6英寸晶圆厂由于wafer本身重量有限,应用并不是很广,后来随着8英寸晶圆厂的兴起,AMHS的应用开始渐渐兴盛起来。
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